手套箱有机金属蒸发镀膜联合系统
SHIWEI是维 手套箱有机金属蒸发镀膜联合系统为纳米薄膜镀膜沉积系统与手套箱系统集成结合联用，是钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、金属电极薄膜等科研实验和产业研发工艺生产专用设备。它具有高真空多源有机与金属电阻蒸发和手套箱环境的器件检测及后期处理等。广泛应用于纳米薄膜光电子器件制备及生产线前期工艺试验等。
手套箱
SHIWEI是维光电 是一家国家高新技术企业 ，围绕先进电子材料器件基础研究、科研创新和产业技术应用，研发材料器件工艺设备及光机电智能化装备。SHIWEI是维已经和清华北大、哈工大，武汉大学，复旦大学 等众多高校，中科院物理所 等科研院所、工矿企业取得合作。
一、设备主要技术参数
真空腔室
L400×W400×H450mm（具体尺寸以设计为准），立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱内部；前开门便于蒸发材料和样片在保护气氛下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离）；整机控制位于手套箱下面，节约占地面积；
样品台
可抽拉式，尺寸120×120mm，可装载15×15mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀mask，配有基片台挡板；
基片台功能
衬底可选择加热（室温～300±1℃可控可调）或水冷，基片台可选升降，源基距最大300mm
真空系统
机械泵+分子泵（进口可选），真空极限可达6.0×10-5Pa（手套箱气氛条件下）；
真空抽速
大气～5×10-4Pa ≤ 30min（超级净化手套箱环境）
真空测量
真空测量“两低一高”数显复合真空计(电阻1单独测量前级真空，电阻2和电离复合测量真空室).
蒸发源
4-6组金属或有机束源炉蒸发源组合可选，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能多，性能稳定
蒸发电源
专业蒸发电源，恒流/恒功率控制，电流，功率可以预先设置，可实现一键启动或停止自动控制功能
膜厚仪
可配国产或者进口膜厚仪在线监测和控制蒸发速率和膜厚
控制方式
PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障
手套箱
MIKROUNA米开罗那或者其他品牌手套箱
二、设备主要配置表
序号
部件名称
型号/参数
数量
品牌/生产厂家
1
真空腔室
L400×W400×H450mm，1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢，1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢
1套
SHIWEI是维
2
分子泵
FF-200/1200复合分子泵
1套
中科科仪
3
机械泵
9L/S
1台
国产
4
真空规
“两低一高”数显复合真空计
1台
上海玉川
5
蒸发源
4-6组金属或有机组合可选
6组
SHIWEI是维
6
蒸发电源
定制
1台
SHIWEI是维
7
膜厚仪
SQM-160单水冷探头，控制精度0.1Å
1套
Inficon英福康
8
控制系统
PLC+触摸屏智能控制系统
1套
SHIWEI是维
9
冷水机
IC008
1台
SHIWEI是维
10
前级阀
GDC-40B 气动挡板阀
1套
川北真空
11
旁路阀
GDC-40B 气动挡板阀
1套
川北真空
12
挡板阀
GDQ-S200B
1套
川北真空
13
放气阀
Φ10mm，电磁截止阀
1套
七星华创
14
基片台
可抽拉式，尺寸120×120mm，可旋转；
1套
SHIWEI是维
15
真空管路
波纹管、真空管道等
1套
SHIWEI是维
16
备件
CF35 铜垫圈及氟密封圈全套等
1套
SHIWEI是维
三、选配产品（可选部件，另外单独报价计价）
膜厚测量及控制
膜厚仪探头接口从腔室KF50 法兰引入；晶振探头安装在靠近基片台附近，用以实时监测镀膜速率和终厚，精度可达±0.1Å。具备与电源联锁控制功能，若镀膜达到设置厚度，可自动切断电源，停止镀膜，实现自控膜厚。
NFICON SQM-160 晶振膜厚仪+单探头
SQM-160 是利用 INFICON 石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器，标准型有两路传感器输入；同时，4 路传感器输入可选，具体视用户实际应用而定；双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中，传感器输入可以分配给不同材料，采集的数据通过平均值，以达到更精确的沉积控制；也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中，为了延长传感器的使用寿命，速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择 0.1Å /s 还是 0.01 Å/s 的速率显示模式。另外，还可以选择频率或质量显示模式。SQM-160 的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM-160 石英晶体监测仪采用了 RS-232 接口和 Windows 窗口软件，可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数，包括仪器操作和保留程序数据到特定的 Excel 文档。同时，USB 或以太网选项也添加通信协议中，以最大程度方便不同用户。
产品特点：
双通道（标准型），四通道可选沉积速率/膜层厚度模拟输出高精度：0.03Hz at 10 个读数/sRS-232 接口，USB 或以太网可选四、设备主要优势
实用性
设备集成度高，结构紧凑，占地面积小，功能可靠稳定。
方便性
设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接线及安装调试简单，既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁性；
设备可与手套箱的对接灵活方便；
设备工作电压为 220V，整机功率小于 2KW，对实验室的供电要求低；
稳定性
设备主要零部件采用进口或国内知名品牌，保证了设备的质量及稳定性；
先进性
独立开发的 PLC+触摸屏智能操作系统，具有智能控制模式和调试维修模式；
控制系统具备漏气自检与提示功能，当设备漏气时，系统会自动提示设备漏气，以便用户进行检漏，保证设备正常稳定运行；
控制系统具备保养维护提示功能，当设备运行达到一定时长，系统会自动提示设备需要维护保养，以便用户及时进行维护，保证设备正常稳定运行；
控制系统具备通讯故障自检功能，系统对分子泵、溅射电源、真空规、电机、流量计等部件的通讯进行自检，如果某个部件出现故障，可以按照系统中的各部件故障查询办法进行查询，及时确认故障原因，保证设备安全；
控制系统具备数据记录与导出功能，控制系统记录设备的操作记录及镀膜过程数据，可以在系统中查看这些数据，也可以用 U 盘导出这些数据；
该系统具备三个等级级密码保护功能，不同等级不同使用权限，确保设备
的安全性和数据的保密性；
五、设备安装条件（用户自备）
供电要求
设备供电总功率≤3KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；
插座距离设备尺寸≤2m；
其它：如用户选配其它选购件，用户自行准备增配件的供电要求，不在安装条件范围内；
供水要求
设备需水冷的部件有蒸发电极、膜厚仪探头；
水压 0.2～0.4MPa，水温 10～25℃；
安装场地要求
设备尺寸为：长宽: L150cm×W90cm。
环境要求
环境温度：5～40℃；
环境湿度：＜85%R.H；
室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体；
六、售后服务承诺、安装调试验收、培训、文档资料
售后服务
产品质保期为一年；
在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的零部件损坏；
在质保期外设备零部件的损坏，提供的配件只收成本费；
质保期内或质保期外如设备出现故障，供方接到用户的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于 48 小时内，赶到技术服务现场并开始维修。
安装调试验收
我公司负责将设备初验收合格后，包装好免费运送至客户所在地，经检验后拆封，供方开始安装调试，运输费用及安装调试费用我司负责；
我公司根据客户要求，负责组织专业人员对设备进行安装调试，客户需提供基本的安装条件和专人配合，以确保安装调试的顺利进行；
设备安装调试到位后，双方组织验收，并对验收单进行验收签字；
我公司向客户提供的设备资料包括：设备说明书、验收单、装箱单、产品合格证、备品备件清单；
我公司在客户安装现场进行的设备验收发生的一切费用由我司承担；
培训
我公司派技术工程师对客户人员在设备安装调试时进行技术培训。使需方人员能掌握有关设备的使用、维护，达到能独立进行操作、维护等的目的。
培训地点为客户设备使用现场，培训人数不少于 2 人，培训时间根据实
际情况而定，培训费用由我司承担；
文档资料
设备操作、维护使用说明书 1 套；
设备电气原理图 1 套；
设备出厂合格检验证明。
七、成功案例
部分业绩案例
中国工程物理研究院，华中科技大学，湖南大学，南京工业大学，南京大学，深圳大学，深圳技术大学，湖南工学院，大连理工大学，青岛大学，南方科技大学，上海科技大学，哈尔滨工业大学（深圳），安徽大学，电子科技大学，吉林大学，天津大学，西湖大学，北京高压科学研究中心，浙江大学，郑州大学，上海台达电子科技，深圳六碳科技，新加坡南洋理工大学，中科院深圳先进院，中科院纳米所，北京服装学院等
部分用户案例更多信息请联系咨询：
武汉是维光电科技有限公司
Mobile: 1397-165-3093
网址：www.shiwhy.com
手套箱有机金属蒸发镀膜联合系统
该设备是纳米薄膜镀膜沉积系统与手套箱系统集成结合联用，是钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、金属电极薄膜等科研实验和产业研发工艺生产专用设备。具有高真空多源有机与金属电阻蒸发和手套箱环境的器件检测及后期处理等，广泛应用于纳米薄膜光电子器件制备及生产线前期工艺试验等。
目前，是维光电 已经和清华北大，复旦大学，武汉大学，华中科技大学，中科院物理所等众多高校，科研院所进行合作，致力于提供“材料生长-器件制备-光机电应用-半导体工艺”全流程产品及服务，助力科学研究、实验开发到推广应用的创新成果转化。
二、设备主要技术参数
真空腔室
L400×W400×H450mm（具体尺寸以设计为准），立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱内部；前开门便于蒸发材料和样片在保护气氛下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离）；整机控制位于手套箱下面，节约占地面积；
样品台
可抽拉式，尺寸120×120mm，可装载15×15mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀mask，配有基片台挡板；
基片台功能
衬底可选择加热（室温～300±1℃可控可调）或水冷，基片台可选升降，源基距最大300mm
真空系统
机械泵+分子泵（进口可选），真空极限可达6.0×10-5Pa（手套箱气氛条件下）；
真空抽速
大气～5×10-4Pa ≤ 30min（超级净化手套箱环境）
真空测量
真空测量“两低一高”数显复合真空计(电阻1单独测量前级真空，电阻2和电离复合测量真空室).
蒸发源
4-6组金属或有机束源炉蒸发源组合可选，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能多，性能稳定
蒸发电源
专业蒸发电源，恒流/恒功率控制，电流，功率可以预先设置，可实现一键启动或停止自动控制功能
膜厚仪
可配国产或者进口膜厚仪在线监测和控制蒸发速率和膜厚
控制方式
PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障
手套箱
MIKROUNA米开罗那或者其他品牌手套箱
三、设备主要配置表
序号
部件名称
型号/参数
数量
品牌/生产厂家
1
真空腔室
L400×W400×H450mm，1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢，1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢
1套
SHIWEI是维
2
分子泵
FF-200/1200复合分子泵
1套
中科科仪
3
机械泵
9L/S
1台
国产
4
真空规
“两低一高”数显复合真空计
1台
上海玉川
5
蒸发源
4-6组金属或有机组合可选
6组
SHIWEI是维
6
蒸发电源
定制
1台
SHIWEI是维
7
膜厚仪
SQM-160单水冷探头，控制精度0.1Å
1套
Inficon英福康
8
控制系统
PLC+触摸屏智能控制系统
1套
SHIWEI是维
9
冷水机
IC008
1台
SHIWEI是维
10
前级阀
GDC-40B 气动挡板阀
1套
川北真空
11
旁路阀
GDC-40B 气动挡板阀
1套
川北真空
12
挡板阀
GDQ-S200B
1套
川北真空
13
放气阀
Φ10mm，电磁截止阀
1套
七星华创
14
基片台
可抽拉式，尺寸120×120mm，可旋转；
1套
SHIWEI是维
15
真空管路
波纹管、真空管道等
1套
SHIWEI是维
16
备件
CF35 铜垫圈及氟密封圈全套等
1套
SHIWEI是维
四、选配产品（可选部件，另外单独报价计价）
膜厚测量及控制
膜厚仪探头接口从腔室KF50 法兰引入；晶振探头安装在靠近基片台附近，用以实时监测镀膜速率和终厚，精度可达±0.1Å。具备与电源联锁控制功能，若镀膜达到设置厚度，可自动切断电源，停止镀膜，实现自控膜厚。
NFICON SQM-160 晶振膜厚仪+单探头
SQM-160 是利用 INFICON 石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器，标准型有两路传感器输入；同时，4 路传感器输入可选，具体视用户实际应用而定；双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中，传感器输入可以分配给不同材料，采集的数据通过平均值，以达到更精确的沉积控制；也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中，为了延长传感器的使用寿命，速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择 0.1Å /s 还是 0.01 Å/s 的速率显示模式。另外，还可以选择频率或质量显示模式。SQM-160 的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM-160 石英晶体监测仪采用了 RS-232 接口和 Windows 窗口软件，可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数，包括仪器操作和保留程序数据到特定的 Excel 文档。同时，USB 或以太网选项也添加通信协议中，以最大程度方便不同用户。
产品特点：
双通道（标准型），四通道可选沉积速率/膜层厚度模拟输出高精度：0.03Hz at 10 个读数/sRS-232 接口，USB 或以太网可选五、设备主要优势
实用性
设备集成度高，结构紧凑，占地面积小，功能可靠稳定。
方便性
设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接线及安装调试简单，既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁性；
设备可与手套箱的对接灵活方便；
设备工作电压为 220V，整机功率小于 2KW，对实验室的供电要求低；
稳定性
设备主要零部件采用进口或国内知名品牌，保证了设备的质量及稳定性；
先进性
独立开发的 PLC+触摸屏智能操作系统，具有智能控制模式和调试维修模式；
控制系统具备漏气自检与提示功能，当设备漏气时，系统会自动提示设备漏气，以便用户进行检漏，保证设备正常稳定运行；
控制系统具备保养维护提示功能，当设备运行达到一定时长，系统会自动提示设备需要维护保养，以便用户及时进行维护，保证设备正常稳定运行；
控制系统具备通讯故障自检功能，系统对分子泵、溅射电源、真空规、电机、流量计等部件的通讯进行自检，如果某个部件出现故障，可以按照系统中的各部件故障查询办法进行查询，及时确认故障原因，保证设备安全；
控制系统具备数据记录与导出功能，控制系统记录设备的操作记录及镀膜过程数据，可以在系统中查看这些数据，也可以用 U 盘导出这些数据；
该系统具备三个等级级密码保护功能，不同等级不同使用权限，确保设备
的安全性和数据的保密性；
六、设备安装条件（用户自备）
供电要求
设备供电总功率≤3KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；
插座距离设备尺寸≤2m；
其它：如用户选配其它选购件，用户自行准备增配件的供电要求，不在安装条件范围内；
供水要求
设备需水冷的部件有蒸发电极、膜厚仪探头；
水压 0.2～0.4MPa，水温 10～25℃；
安装场地要求
设备尺寸为：长宽: L150cm×W90cm。
环境要求
环境温度：5～40℃；
环境湿度：＜85%R.H；
室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体；
七、售后服务承诺、安装调试验收、培训、文档资料
售后服务
产品质保期为一年；
在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的零部件损坏；
在质保期外设备零部件的损坏，提供的配件只收成本费；
质保期内或质保期外如设备出现故障，供方接到用户的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于 48 小时内，赶到技术服务现场并开始维修。
安装调试验收
我公司负责将设备初验收合格后，包装好免费运送至客户所在地，经检验后拆封，供方开始安装调试，运输费用及安装调试费用我司负责；
我公司根据客户要求，负责组织专业人员对设备进行安装调试，客户需提供基本的安装条件和专人配合，以确保安装调试的顺利进行；
设备安装调试到位后，双方组织验收，并对验收单进行验收签字；
我公司向客户提供的设备资料包括：设备说明书、验收单、装箱单、产品合格证、备品备件清单；
我公司在客户安装现场进行的设备验收发生的一切费用由我司承担；
培训
我公司派技术工程师对客户人员在设备安装调试时进行技术培训。使需方人员能掌握有关设备的使用、维护，达到能独立进行操作、维护等的目的。
培训地点为客户设备使用现场，培训人数不少于 2 人，培训时间根据实
际情况而定，培训费用由我司承担；
文档资料
设备操作、维护使用说明书 1 套；
设备电气原理图 1 套；
设备出厂合格检验证明。
八、成功案例
部分业绩案例
中国工程物理研究院，华中科技大学，湖南大学，南京工业大学，南京大学，深圳大学，深圳技术大学，湖南工学院，大连理工大学，青岛大学，南方科技大学，上海科技大学，哈尔滨工业大学（深圳），安徽大学，电子科技大学，吉林大学，天津大学，西湖大学，北京高压科学研究中心，浙江大学，郑州大学，上海台达电子科技，深圳六碳科技，新加坡南洋理工大学，中科院深圳先进院，中科院纳米所，北京服装学院等
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